光學鍍膜設備的維護及清洗
光路的檢修與維護
光路調整的先決條件是:確保直流穩(wěn)定電源、調制光源頭、光纖、光柵單色儀、光電轉換放大器、光學膜厚儀及各專用電纜的完好和正確接入。特別是光電轉換放大器、光學膜厚測量儀的接地點,必須單獨歸至主機接點牢固接地。
光學鍍膜設備的清洗
設備使用一個星期后(三班),因鍍料除鍍在工件表面 外,亦因無定向性而工作室 內的襯板上鍍料,并越鍍越厚,該層膜厚因組織、繞疏松,吸收大量氣體而造成真空鍍膜設備抽氣越來越慢。此時,應對工作室及襯板進行清洗,如不必要拆落來的部件,可用砂紙打磨干凈,襯板可浸泡在氫氟酸水溶液里,氫氟酸和水的比例看需要浸泡時間長短以及不傷襯板為原則。
注:襯板必須烘干水份才能安裝,烘干前,襯板的水分盡量抹干,工作架等部件用砂紙清潔后,需要把真空室的所有灰塵清理干凈,此可用吸塵器吸干凈灰塵。最后安裝襯板時,真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。
因使用電子槍及離子源輔助鍍膜,可能會造成清潔困難,可使用噴沙等方法來清潔。